超声波喷涂技术技术


超声波喷涂技术原理如下。让喷涂的液体与利用超声波上下振动以生成液滴的头部相互接触,将液体尺寸细化为次微米级,然后直接涂布。原来使用喷嘴的空气喷涂方式在气压作用下使液体"接触底板",而此次的超声波喷涂方式则将打得很细的液体直接"涂布到底板上"。

超声波喷涂方法的优点是:

(1)由于涂布的是微细化至次微米级的液体,所以可以形成次微米级膜厚以及高精度形成薄膜;

(2)空气喷涂方式的问题在于液体被底板弹回及液体向旁边飞散,而此次开发的方法不会产生这些问题;

(3)由于液体是在分散后的状态直接涂布的,所以材料利用率高达95~99%;

(4)不需要空气喷涂装置通常使用的喷嘴,不会出现喷嘴堵塞的情况。

  其中,由于不会造成喷嘴堵塞,因此能够涂布含有微粒的液体。比如,在美国曾用于涂布C(碳)和Pt(铂)等燃料电池的电极材料。在FPD(平板·显示器)方面,有望用于TFT形成后形成导电膜等用途。